Wachstum-Methode

CZ

Leitende Art

P

Dopant

B

Lagebestimmung

100

Weg von der Lagebestimmung

±3°

Widerstandskraft

0.5 3 Ω·cm oder 3 - 6 Ω·cm

Minorität-Fördermaschine-Lebenszeit

≥10μs

Sauerstoff-Inhalt

≤1.0*1018 /cm ³

Carbon-Inhalt

  ≤2.0*1017 /cm ³

Maß

125*125±0.5mm

Diagonal

150±0.5mm

Quadratischer Seiten-Winkel

90±0.5°

Streight unterteilt Längen-Abweichung

21.25±1mm

Stärke

μm 200±20

TTV

≤30μm

Sah Markierung

≤20μm

Verzerrung

≤75μm

Späne

Depth<0.3mm; Length<0.5mm

Aussehen

Kein Fleck, kein Splintloch und Sprünge durch Sichtkontrolle