Art

ZHD230 A

ZHD230 B

ZHD230 C

Vakuumpumpen

Diffusionspumpe + mechanische Pumpe

Molekulare Pumpe + mechanische Pumpe

Diffusionspumpe + mechanische Pumpe

Höchstes erreichtes Vakuum

6. 6 ×10-4Pa

6. PA 6 ×10-5

6. PA 6 ×10-4

Spg.Versorgungsteil

2 KILOWATT

Struktur der Elektroden

Ein Paar Verdampfungelektroden

Ein Paar Verdampfungelektroden

Ein Paar Verdampfungelektroden, a-Klage der Carbon-Sprühausrüstung

Filmarten

Metal Filme, Oxidfilme, dielektrische Filme, Halbleiterfilme, organische Filme, etc.

Verdampfungelektroden

ein Paar Wassererkühlungelektroden

Schichtsraum

Maß: 230×H300 Millimeter; Material: Glasdeckel; Top-down Struktur

Pumpende Geschwindigkeit

Pumpen time≤20 Minute (molekulare Minute) der Pumpe/30 (Diffusionspumpe), vom atmosphärischen Druck zu 10-3Pa

Filmgleichförmigkeit

Die Fluktuationen der Schichtstärke sind kleiner als 5%

Vakuummaß

Niedrig-hohes digitales zusammengesetztes Vakuumlehre × 1, vom atmosphärischen Druck zu PA 10-5

Vakuumsteuerung

Manuelle Steuerung

Beispielunterstützung

Φ80100 Millimeter, findet auf die Oberseite des Raumes

Schutz

Warnung und automatischer Schutz arbeiten für Wasserentleerung, anormaler Fluss, über dem gegenwärtigen Fließen, über Spannung und elektrische Abschaltung, etc.

Grundlegende Parameter

Kilowatt Power≥5; Gedienter Bereich: 5 m2

Arbeitsbereich und Zustände

Wahlweise freigestellte Vorrichtungen

Wasserkühlung u. Wiederverwertung Maschine