Hochvakuum-plasma-verstärkte chemische Dampf-Absetzung (CCP-Typ) System-VTC-PECVD

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Henan Mingguan Scientific Instruments Co., Ltd.2 yrs

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Hauptmerkmale

Zentrale Industriespezifikation

Garantie

one year

Andere Merkmale

Ursprungsort

Henan, China

Klassifikation

Heizungsmaschine des Labors

Maßgeschneiderte unterstützung

OEM

Markenname

MGSI

Modellnummer

VTC-PECVD

Gewicht

200kg

Spannung

Single-phase 208 - 240 VAC 50 / 60 Hz

Product name

Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition system

RF Source Power

300 W, 13.56 MHz

Vacuum Chamber material

Made of 304 stainless steel

Dimension

Dia 300 mm * 300 m H

Ultimate vacuum

6E-7 torr

Turbo Pump

700 L/s Pfeiffer turbo pump

Backing Pump

240 L/min (4L/s) rotary vane pump

Sample holder size

100 mm Dia. for. 4" wafer max

Flow rate

16 L/min

Compliance

CE approval

Beschaffungszeit

Menge (Sätze)	1 - 1	> 1
Vsl. Dauer (Tage)	60	Zu verhandeln

Produktbeschreibungen vom Lieferanten

Mindestbestellmenge: 1 Satz

54.348,00 CN¥ - 543.480,00 CN¥

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